莱宝离子泵-small/Low Profile/Tall Profile系列
优势速览:
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莱宝离子泵
- 离子泵工作原理
- 创造强础场区域
- 永磁铁置于泵体真空腔之外,产生强磁场,用来控制和引导电子在阳极筒内环形运动
- 第二步
- 产生电子云
- 泵体真空预抽后,施加高电压,电子在阳极简产生旋转电子云,并被强磁场所约束
- 第三步
- 当气体分子进入阳极筒单元,被电子轰击,离化为正离子,正离子经高压电场加速后高速飞出阳极筒飞向阴极板
- 第四步
- 气体离子吸附抽除
- 当气体阳离子达到阴极板,高速动能产生的溅射作用,阴极材料被轰击出飞向阳极筒,同时气体离子通过下述两种吸附作用之一被抽除:物理吸附、化学吸附
技术参数:
- TiTan"莱宝离子泵优势
- 长使用寿命
- 设计使用寿命均可达45,000-50,000小时。随着工作压强的降低,使用寿命将会线性增加举例而言,若始终工IE-9mabr的UHV环境下,离子泵可以连续运行数十年。
- 高真空
- 所有离子泵在出厂时内部真空度低于1E-10bar,检漏数据和RGA扫描分析报告等生产和质量数据可追溯。
- 线缆
- SAFECONN系列电缆具有高压安全锁功能,规避触电等安全风险,耐高温耐辐射、易弯折方便安装
- 高压端子
- 10kvsHv( SAFECONN)高压端子是莱宝离子泵标准配置,具有安全、易于连接等特点。
- 所有离子泵均可选配集成110V或220V加热器,配铁磁体的小型离子泵也可以安装加热器。带磁铁可以进行250°C烘烤,不带超铁可以进行450°C烘烤。
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离子泵工作原理
