清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境.自能够创造真空环境开始,人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果.时至今日清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、住赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品,在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点∶
①无油,无摩擦——真空腔内无油,非接触,无磨损,不产生微粒尘埃污染,可获得清洁真空;
②抽气量大————双涡旋盘,结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍,节省能源;
③抽气效率高——带有3-4个抽气单元,压差小;大气与真空之间由O型圈密封,泄漏低;
④非接触,良好平衡,力矩影响小,噪音低,振动小;
⑤结构简单紧凑,相同尺寸下,运动半径小,运行平稳;
⑥体积小,维修方便,维护费用低
安静,洁净,低振动,排水能力强! 体积小,抽速大,远程控制简单! 电气接口方便与系统集成科研!
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